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한국에너지기술연구원에 Lucida GS100 ALD장비 공급

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(주)엔씨디는 최근 고효율 결정질 실리콘 태양전지용 Al2O3-ALD 페시베이션 장비인 Lucida GS100 ALD를 한국에너지기술연구원에 제작하여 공급하였습니다.
Batch 배치 웨이퍼 공정 장비의 사양은
1) Batch Capability: > 200 wafers/hour
2) 기판 크기: 156 x 156mm2
3) Dimension: Approx. 450W x 617D x 1000H mm
한국에너지기술원은 에너지에 대한 국내 최고의 국가 연구소로 결정질 실리콘 태양전지를 위한 최적의 유전체와 페시베이션 층에 대한 연구를 Lucida GS 100을 사용하여 진행할 것입니다. 엔씨디는 공급장비가 태양 에너지 연구의 발전에 많은 공헌을 할 것으로 기대하고 있습니다. 
(주)엔씨디는 앞으로도 지속적인 연구개발로 최고의 태양전지용 ALD장비회사로 거듭나도록 노력하겠습니다.