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중국 JA Solar와 PERC 셀 제조용 ALD 장비 공급계약 체결

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㈜엔씨디는 최근 중국의 대형 솔라셀 제조사인 JA Solar와 고효율 PERC 셀 제조용 ALD 장비를 공급하기로 계약하였습니다. 본 계약장비는 Lucida GS Series이며, 고품질의 Al2O3 ALD 박막을 wafer 후면에 증착하여 결정질 실리콘 태양전지의 효율을 증가시키기 위한 장비입니다.
 Lusida GS Series는 다수의 웨이퍼에 Al2O3 후면 패시베이션을 형성하는 배치형 ALD 증착 장치로 156mm X 156mm 크기의 wafer를 시간당 4,500매(@ 4nm 두께) 이상 처리할 수 있습니다. 고객사는 솔라셀 생산에 Lusida GS Series를 적용함으로써 경쟁사 대비 높은 생산성 및 수율, 효율적인 gas소모량, 적은 유지보수 비용과 같은 효과로 인하여 고효율 태양전지의 생산단가를 획기적으로 낮출 수 있습니다. 엔씨디는 이러한 장점과 우수성을 바탕으로 앞으로는 Lucida GS Series가 고효율 솔라셀 제조에서 ALD 공정 적용을 위한 필수적인 장비가 될 것으로 확신하고 있습니다.
 앞으로도 엔씨디는 ALD 기술을 선도하는 세계 최고의 전문기업이 되도록 지속적으로 노력하겠습니다.