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< Lucida GS-P360 >

㈜엔씨디는 최근 한국전력연구원(KEPCO)에 페로브스카이트 솔라셀(PSC) 전용 ALD 장비(Lucida GS-P360)를 공급하였습니다. 본 계약장비는 고효율 페로브스카이트 솔라셀의 전자수송층(ETL)으로 사용되는 SnO2를 증착하는 장비로 동시에 다수의 유리 기판에 ALD 공정을 진행할 수 있어 생산성을 높인 양산 장비 입니다.
ALD 공정으로 증착한 SnO2는 나노단위의 균일한 박막 증착이 가능하여 가시광선 범위에서 TiO2보다 높은 광 투과율을 보이며, 또한 높은 전도성과 우수한 안정성 등의 장점을 가지고 있습니다.
페로브스카이트 솔라셀은 간단한 공정으로 제작할 수 있어 효율성과 경제성이 뛰어나 차세대 태양전지로 각광을 받고 있습니다. 한국전력연구원(KEPCO)에서는 페로브스카이트 연구에 집중하여 50x50mm2 유리기판 크기에서 19.8%의 효율을 달성하였습니다.  상용화 단계를 목표로 150x150mm2 유리기판을 사용하는 태양전지모듈에서 18%를 달성하고 20kW급 규모의 유리창호형 태양전지 발전시스템을 구축하여 실증을 진행하는 개발을 하고 있으며, 수년 내에 본격적인 상용화가 가능할 것으로 전망하고 있습니다.
일반적으로 ALD 공정은 저온 공정이 가능하고, 우수한 박막 품질 및 공정 신뢰성 및 확장성을 가지고 있음에도 불구하고 낮은 공정 속도 때문에 생산 비용이 크게 부담이 될 수 있습니다. 하지만 (주)엔씨디에서 공급한 페로브스카이트 전용 ALD 장비는 (주)엔씨디의 독창적인 고생산성 ALD 기술을 적용하여, ALD 공정 난이도가 높은 고온 Sn 프리커서를 사용함에도 불구하고, 180x180mm2 유리기판에 SnO2 공정을 진행할 수 있어 시간당 100장 이상의 우수한 생산성 및 경제성을 확보하고 있습니다.
또한 이번에 공급된 장비는 대면적 유리기판(360x360mm2)을 겸용으로 사용할 수 있어 대면적 창호형 페로브스카이트 솔라셀 제조가 가능하도록 개발 되었습니다.
특히 유리창호형 태양전지는 2mm두께 이상의 두꺼운 유리기판을 사용함으로써 ALD공정을 위하여 유리기판의 온도를 올리는데 많은 시간이 소요되어 생산성을 높이는데 한계가 있습니다. 하지만 ㈜엔씨디가 개발한 ALD 장비(Lucida GS-P360)는 독자적인 히팅시스템(특허출원)을 갖추고 있어 두꺼운 유리기판의 히팅에 필요한 시간을 획기적으로 줄임으로써 높은 생산성을 확보할수 있습니다.
㈜엔씨디는 본격적으로 페로브스카이트 솔라셀 제조를 위한 고생산성 ALD 기술 및 장비 시장을 주도 할 것으로 기대하며, 앞으로도 ALD 기술을 선두주자로서 세계 최고의 ALD 회사로 성장하도록 노력하겠습니다.