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基于NCD-ALD封装技术,未来的折叠式/柔性显示屏

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智能手机方面,继曲面之后,折叠式智能手机的上市了,可移动的机器的硬件形状竞争成为市场的话题。
三星电子通过Galaxy Fold和Galaxy Z Flip,采用了往里折叠画面的形状。华为新提出了以MateX向外展开画面的外折叠形状。 而且,超越内外折叠显示,正在公开可折叠两三次的折叠式形状。
柔性显示屏是在柔软的基板上驱动元件、显示元件和为了这些元件保护采用了叠层结构的封装技术,无机膜采用PECVD方式。
由于脆性较弱的无机膜存在连续机械压力时封装特性可能下降的问题, 在柔性显示开发初期,考虑采用厚度比PECVD方式薄且具有出色封装特性的ALD方式无机膜。
由于当时ALD设备的可靠性问题,未能适用于实际生产。
但是因为ALD膜的出色封装特性,直到今天,很多大学、研究所和显示屏企业为了应用可柔性显示屏 ,正在进行数十万次折叠评估等。
NCD的大面积ALD沉积设备Lucida GD Series ALD的安装客户公司也在柔性显示屏上使用了ALD Al2O3无机膜代替PECVD无机膜进行折叠评估,确认显示屏是否正常运转。In-folding和Out-folding用显示元件为5.85英寸AMOLED面板,封装结构由30nm Al2O3 ALD/8㎛-Polymer/30nm Al2O3构成,在RA 60℃/90% for 500hr的可靠性评价后,以2R在显示on状态下进行20万次In-folding及Out-folding评估。折叠评价后显示屏完全没有出现暗点等问题。进行折叠评价后,进行RA 60℃/90% for 48hr的第二次信赖性评价,然后观察TFE(Thin Film Encapsulation)状态。 TFE进行了2次信赖性评价和20万次折叠评价,但是TFE却完全没有发生破裂的结果。
为了适用于折叠式手机,如果使用NCD的大面积Batch ALD,薄薄的无机膜不仅能确保比现有手机更优质的封装特性,而且可以一次性完成多张,因此可以解决生产效率问题。
由于解决了之前未能实际量产的设备的可靠性和生产率问题,因此,为了满足现在折叠屏手机更小的曲率半径和in/out-folding等需求。NCD的大面ALD设备有望提供优质解决方案。