Global Leader in ALD Technology
为晶硅太阳能电池的表面钝化用高产能原子层沉积系统
LucidaTM GS Series
LucidaTM GS Series + Automation
应用范围
特征
技术数据
型号 | 材料 | 硅片尺寸 (mm2) | 厚度 (nm) | 产能 (wph) |
---|---|---|---|---|
LucidaTM GS200 | Al2O3 | 156x156 | 4 | ≥ 550 |
LucidaTM GS800 | Al2O3 | 156x156 | 4 | ≥ 2300 |
LucidaTM GS1200 | Al2O3 | 156x156 | 4 | ≥ 3400 |
LucidaTM GS1600 | Al2O3 | 156x156 | 4 | ≥ 4500 |
LucidaTM GS6000 | Al2O3 | 156x156 | 4 | ≥ 6000 |