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LucidaTM TS 系列原子层沉积

为CIGS(铜铟镓硒薄膜太阳能电池)太阳能电池的无镉缓冲介质层用高产能原子层沉积系统

LucidaTMTS series

Lucida™ TS series

Cluster system for LucidaTM TS series

Cluster system for Lucida™ TS series

应用范围

  • CIGS(铜铟镓硒薄膜太阳能电池)太阳能电池的无镉缓冲介质层(ZnS,ZnOS等等)
  • 为工业化大批生产的适用
  • 高产能 : 40面板每小时以上(1PM)
  • 极板尺寸 : > 900x1600mm2

特征

  • 先进的工艺kit及紧凑的反应室, 以实现短的反应气体循环周期
  • 极其实现化的原子层沉积机制
  • 小的占用面积
  • 综合集成化的工艺单元模组
  • 简便的工艺控制

技术数据

技术数据
型号 材料 极板尺寸 (mm2) 厚度 (nm) 产能 (极板/小时)
LucidaTM TS600 Zn(O,S) >900x1600 30 >40(1PM)
LucidaTM TS600-IN Zn(O,S) > 900x1600 30 >120
相关Lucida™ TS系列的更详细的适用用途和技术数据