Global Leader in ALD Technology

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LucidaTM R 系列原子层沉积

ALD 设备系统为了 roll to roll 方式

活用

  • Roll to roll ALD薄膜流程-很高的防潮性为了柔性OLED显示,柔性OLED照明, quantum dots, 柔性太阳能电池等等. : Al2O3, TiO2
  • 在研究和试制品使用
  • Web 幅: <600mm

特点

  • 最先进的流程KIT为了缩短气周期
  • 很高的膜优秀跟polymer膜
  • 可以使用多种物质在ALD系统
  • 很容易的控制流程

技术 规格

技术 规格
型号 质料 Web 幅 (mm)
LucidaTM R 300 Al2O3, TiO2 <300
LucidaTM R 600 Al2O3, TiO2 <600
More information for application and specification for Lucida™ R series ALD