| 为CIGS(铜铟镓硒薄膜太阳能电池)太阳能电池的无镉缓冲介质层用高产能原子层沉积系统 |
| 应用范围 |
- CIGS(铜铟镓硒薄膜太阳能电池)太阳能电池的无镉缓冲介质层(ZnS,ZnOS等等)
- 为工业化大批生产的适用
- 高产能 : 40面板每小时以上(1PM)
- 极板尺寸 : > 900x1600㎟
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| 特征 |
- 先进的工艺kit及紧凑的反应室, 以实现短的反应气体循环周期
- 极其实现化的原子层沉积机制
- 小的占用面积
- 综合集成化的工艺单元模组
- 简便的工艺控制
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| 技术数据 |
| 型号 |
材料 |
极板尺寸
(mm2) |
厚度
(nm) |
产能
(极板/小时) |
| Lucida™ TS600 |
Zn(O,S) |
> 900x1600 |
30 |
>40(1PM) |
| Lucida™ TS600-IN |
Zn(O,S) |
> 900x1600 |
30 |
>120 |
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Lucida™ TS series
Cluster system for Lucida™ TS series |
产品介绍