产品介绍Roll to RollLucida™ R系列原子层沉积
Lucida™ R系列原子层沉积
ALD 设备系统为了 roll to roll 方式
活用
  • Roll to roll ALD薄膜流程-很高的防潮性为了柔性OLED显示,柔性OLED照明, quantum dots, 柔性太阳能电池等等. : Al2O3,TiO2
  • 在研究和试制品使用
  • Web 幅: <600mm
特点
  • 最先进的流程KIT为了缩短气周期
  • 很高的膜优秀跟polymer膜
  • 可以使用多种物质在ALD系统
  • 很容易的控制流程

技术 规格

型号 质料 Web 幅
(mm)
Lucida™ R 300 Al2O3,TiO2 <300
Lucida™ R 600 Al2O3,TiO2 <600
 
More information for application and specification for Lucida™ R series ALD