ALD 设备系统为了 roll to roll 方式 |
活用 |
- Roll to roll ALD薄膜流程-很高的防潮性为了柔性OLED显示,柔性OLED照明, quantum dots, 柔性太阳能电池等等. : Al2O3,TiO2
- 在研究和试制品使用
- Web 幅: <600mm
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特点 |
- 最先进的流程KIT为了缩短气周期
- 很高的膜优秀跟polymer膜
- 可以使用多种物质在ALD系统
- 很容易的控制流程
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技术 规格 |
型号 |
质料 |
Web 幅
(mm) |
Lucida™ R 300 |
Al2O3,TiO2 |
<300 |
Lucida™ R 600 |
Al2O3,TiO2 |
<600 |
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