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最近发行的2017年 Aluminum Oxide Deposition Equipment 有关 NCD的太阳光设备的内容上了TAIYANGNEWS,
主要内容包括NCD和其他制造AlOx沉积设备的公司并比较了各公司设备的 Thickness, Uptime, TMA Consumption, Efficiency及Thickness uniformity等项目。
NCD的Lucida GS Series沉积设备与其他公司沉积设备相比:不仅仅可以用H2O而且在低温下也拥有高效的反应速度,也可以用臭氧做为反应气体,
用最少量的TMA进行工艺得到最高效的Throughput,从这几点上认证了NCD设备的优异性。还有Lucida GS 1600设备可以随时确认specification table,
PDF资料可以在Customer Center的Download项目里下载。