Global Leader in ALD Technology

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중국 SF-PV에 솔라셀 제조용 ALD 장비 공급

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㈜엔씨디는 최근 중국의 솔라셀 제조사인 SF-PV에 고효율 PERC 셀 제조용 ALD 장비 공급하였습니다. 본 납품장비는 (Lucida GS Series + Automation)이며, 고품질의 Al2O3 ALD 박막을 wafer 후면에 증착하여 결정질 실리콘 태양전지의 효율을 증가시키기 위한 장비로, 3월 말에 고객사에 설치가 완료되고 4월에 고효율 셀 생산에 투입될 예정입니다.
Lucida GS Series는 다수의 웨이퍼에 Al2O3 후면 패시베이션을 형성하는 배치형 ALD 증착 장치로 156mm X 156mm 크기의 wafer를 시간당 4,500매(@ 4nm 두께) 이상 처리할 수 있으며, 고객사는 솔라셀 생산에 Lucida GS Series를 적용함으로써 경쟁사 대비 높은 생산성 및 수율, 효율적인 gas소모량, 적은 유지보수 비용과 같은 효과로 인하여 고효율 태양전지의 생산단가를 획기적으로 낮출 수 있습니다.
엔씨디는 이러한 성과를 바탕으로 지속적으로 ALD 기술을 선도하는 세계 최고의 전문기업이 되도록 노력하겠습니다.