ALD Process Development Plan

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Coating service

광학, 에너지, 센서, 바이오 및 MEMS 등

코팅 서비스 및 공정 데모를 제공

(주)엔씨디는 보유 ALD 공정 장비를 활용하여 광학, 에너지, 센서, 바이오 및 MEMS 등의 다양한 ALD 응용 사업 분야를 위한 코팅 서비스 및 공정 데모를 제공하고 있습니다. 연구개발용 Lucida™ D100 ALD system(100mm)과 Lucida™ D200 ALD system(200mm)을 회사 내 클린룸에 보유하여 학교 및 연구소 등의 고객에게 다양한 박막 공정 서비스를 제공하고 있습니다. 결정질 실리콘 태양전지의 Al2O3 페시베이션 공정을 수행할 수 있는 양산용 장비인 Lucida™ GS1600 ALD system을 보유하고 있어 국내 및 중국, 대만, 유럽 등의 고효율 결정질 태양전지 제조사와 다양한 공정 데모를 활발하게 진행하고 있으며, TS600 ALD system을 보유하여 CIGS 태양 전지의 Cd free buffer layer를 위한 ZnS, ZnOS 등의 공정을 수행할 수 있습니다. 또한 Lucida™ GD ALD system을 이용하여 OLED분야의 encapsulation 및 barrier layer에 대한 공정 데모도 활발히 진행 중입니다.

코팅서비스예시

서비스 가능한 물질 list

ALD컬러코팅

ALD decorative color coatings

  • Al2O3 (TMA+H2O(or O3))
  • HfO2 (TEMAHf+H2O(or O3))
  • ZrO2 (TEMAZr+H2O(or O3))
  • TiO2 (TTIP or TDMAT +H2O(or O3))
  • ZnO (DEZ+H2O(or O3))
  • Al doped ZnO (TMA, DEZ+H2O(or O3))
  • ZnS (DEZ+H2S)
  • Ru (RuDi+O2)
  • 이외 다양한 물질군
  • * 단, precursor의 보유 상황에 따라 데모가 불가능할수도 있습니다.