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반도체 장비 제품 보호용 특수 코팅을 위한 새로운 원자층 증착 장비 출하

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<Lucida GSH500>

엔씨디는 국내 고객사에 반도체 장비에 사용하는 파트의 부식방지 및 플라즈마 아킹 방지를 위한 코팅용 원자층 증착 장비를 공급하였습니다. 고객은 이러한 파트의 보호용 코팅으로 공정의 안전성과 파트 손상을 방지할 수 있기 때문에 긴 파트 라이프 타임 및 운용비용 절감을 기대할 수 있습니다.
반도체 산업에서는 점점 생산성 및 원가경쟁력이 더욱 중요해지고 있습니다. 특수 코팅을 통한 고가의 반도체 장비 제품의 파티클 발생 및 손상을 방지하고, 늘어난 교체 주기에 따른 생산 비용 감소 및 운용 시간 증가는 업체의 경쟁력을 크게 향상시킬 수 있습니다.
기존의 파트 보호용 코팅은 용사코팅과 anodizing 또는 sputtering을 사용하고 있으나 복잡하고 미세한 형상의 제품에 균일하게 코팅하는 것에는 한계가 있었습니다. 하지만 원자층 증착 적용은 그러한 문제를 해결할 수 있습니다.
식각 공정과 챔버 내부 dry cleaning을 위한 부식성 가스와 플라즈마 환경에서 사용되는 제품 중에 특히 복잡한 형상의 샤워헤드나 Electro static chuck 등이 원자층 증착 코팅 적용될 수 있는 파트로 기대됩니다. 즉 샤워헤드는 기존의 CVD나 PVD 방식으로는 수많은 미세 홀에 균일한 코팅막을 증착할 수 없기 때문에 원자층 증착은 필수적으로 여겨지며, ESC 또한 웨이퍼 lift를 위한 핀 홀 내부 등에 균일한 코팅이 요구되므로 원자층 증착이 더 좋은 방안이 될 수 있을 것입니다.
일반적으로는 파트 데미지 방지를 위한 원자층 증착에는 여러 응용분야에서 검증이 완료된 Al2O3 막을 파트에 코팅하는 것을 적용하고 있으며, 향후에 Al2O3보다 휠씬 부식방지 성능이 뛰어난 것으로 알려진 Y2O3 막을 적용하기 하기 위한 연구가 활발히 진행되고 있습니다.
본 공급장비는 Lucida GSH500으로 엔씨디의 독창적인 고생산성 대면적 원자층 증착 기술이 적용되어 다수의 반도체 장비 파트를 한번에 로딩하여 동시에 균일한 코팅을 할 수 있는 장비입니다. 엔씨디는 앞으로도 경쟁력이 뛰어난 원자층 증착 기술 및 장비를 개발하여 새로운 응용분야를 확대하는 위한 노력을 계속적으로 해나갈 것입니다.